RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1990 Volume 24, Issue 3, Pages 517–520 (Mi phts3767)

Влияние деформационных напряжений границы раздела Si$-$SiO$_{2}$ на образование и отжиг радиационных дефектов в кремнии

L. A. Kazakevich, V. I. Kuznetsov, P. F. Lugakov, I. M. Filippov, A. V. Tsikunov




© Steklov Math. Inst. of RAS, 2024