RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1990
Volume 24,
Issue 3,
Pages
517–520
(Mi phts3767)
Влияние деформационных напряжений границы раздела Si
$-$
SiO
$_{2}$
на образование и отжиг радиационных дефектов в кремнии
L. A. Kazakevich
,
V. I. Kuznetsov
,
P. F. Lugakov
,
I. M. Filippov
, A. V. Tsikunov
Fulltext:
PDF file (572 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024