Генерация и отжиг дефектов при совмещенном геттерировании в кремнии $n$-типа. II. Точечные дефекты, индуцированные геттерирующими микродефектами

N. T. Bagraev, L. E. Klyachkin, A. M. Malyarenko, I. S. Polovtsev, V. L. Sukhanov