RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1990
Volume 24,
Issue 10,
Pages
1747–1751
(Mi phts4029)
Исследование эффекта ионно-пучкового отжига аморфизированных имплантацией приповерхностных слоев Si по спектрам КРС
V. V. Artamonov
,
M. Ya. Valakh
, B. D. Nechiporuk
, B. N. Romanyuk
, V. V. Strelchuk
Fulltext:
PDF file (712 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024