RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1990
Volume 24,
Issue 10,
Pages
1785–1789
(Mi phts4035)
Образование позитронно-чувствительных дефектов в процессе термообработки кремния в хлорсодержащей атмосфере
N. Yu. Arutyunov
,
N. A. Sobolev
,
V. Yu. Trashchakov
, E. I. Shek
Fulltext:
PDF file (521 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024