V. I. Fistul, A. M. Pavlov, E. N. Levadnyuk, V. I. Mikhailov, “Состояние лазерно-имплантированного кремния на границе Si<nobr>$-$</nobr>Al”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1991, Volume 25, Issue 1,Pages <nobr>124

JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1991 Volume 25, Issue 1, Pages 124–127 (Mi phts4160)

Состояние лазерно-имплантированного кремния на границе Si$-$Al

V. I. Fistul, A. M. Pavlov, E. N. Levadnyuk, V. I. Mikhailov