Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1991 Volume 25, Issue 3,Pages 373–378(Mi phts4215)
Некоторые эффекты, влияющие на профиль распределения внедренных ионов
в кристаллических мишенях полупроводниковых соединений
A$^{\text{III}}$B$^{\text{V}}$ после ионной имплантации