RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1991 Volume 25, Issue 3, Pages 523–528 (Mi phts4242)

Влияние терморадиационной обработки на процесс образования дефектных центров в кремнии при электронном облучении

Yu. M. Dobrovinskii, Sh. Makhkamov, A. Mirzaev, V. I. Mitin, N. A. Tursunov




© Steklov Math. Inst. of RAS, 2024