RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1991
Volume 25,
Issue 3,
Pages
523–528
(Mi phts4242)
Влияние терморадиационной обработки на процесс образования дефектных центров в кремнии при электронном облучении
Yu. M. Dobrovinskii
,
Sh. Makhkamov
, A. Mirzaev
, V. I. Mitin
, N. A. Tursunov
Fulltext:
PDF file (711 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024