Совместная имплантация в полуизолирующий арсенид галлия электрически активной и изовалентной примесей

V. S. Abramov, I. P. Akimchenko, V. A. Dravin, N. N. Dymova, V. V. Krasnopevtsev, V. V. Chaldyshev, Yu. V. Shmartsev