Исследование пространственного распределения дефектов и механических напряжений в кремнии, имплантированном ионами углерода

V. V. Artamonov, M. Ya. Valakh, F. Kirsht, N. I. Klyui, V. G. Litovchenko, B. D. Nechiporuk, B. N. Romanyuk