RUS
ENG
Full version
JOURNALS
// Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
// Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov,
1991
Volume 25,
Issue 10,
Pages
1841–1844
(Mi phts4486)
Short Notes
Особенности дефектообразования в кремнии при высокоэнергетичной имплантации бора
F. Al-Bakkur
,
A. Yu. Didyk
, I. P. Kozlov
, V. B. Odzaev
,
V. V. Petrov
, V. S. Prosolovich
, A. S. Sokhatskii
Fulltext:
PDF file (533 kB)
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2024