RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1992 Volume 26, Issue 1, Pages 111–121 (Mi phts4561)
Кинетика окисления кремния и структура окисных слоев толщиной менее 50 ангстрем

A. Ya. Vul', T. L. Makarova, V. Y. Osipov, Yu. S. Zinchik, S. K. Boitsov



© Steklov Math. Inst. of RAS, 2024