V. V. Artamonov, M. Ya. Valakh, A. V. Denisov, V. N. Mordkovich, B. D. Nechiporuk, “Воздействие света на процесс имплантации ионов P<nobr>$^{+}$</nobr> в Si”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1992, Volume 26, Issue 12,Pages <nobr>2083

JOURNALS // Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov // Archive

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1992 Volume 26, Issue 12, Pages 2083–2090 (Mi phts4877)

Воздействие света на процесс имплантации ионов P$^{+}$ в Si

V. V. Artamonov, M. Ya. Valakh, A. V. Denisov, V. N. Mordkovich, B. D. Nechiporuk