Воздействие света на процесс имплантации ионов P$^{+}$ в Si

V. V. Artamonov, M. Ya. Valakh, A. V. Denisov, V. N. Mordkovich, B. D. Nechyporuk

Institute of Semiconductor Physics NAS, Kiev

Received: 28.05.1992
Accepted: 08.06.1992