Эпитаксиальная кристаллизация напыленных слоев кремния на подложках GaP в условиях интерференционного лазерного отжига

Yu. V. Koval'chuk, E. L. Portnoĭ, B. I. Skopina, V. B. Smirnitskiĭ, O. V. Smol'skii, I. A. Sokolov