Использование скользящего разряда для размерной обработки тонких полимерных слоев ВУФ фототравлением

K. A. Valiev, L. V. Velikov, S. D. Dushenkov, D. Y. Zaroslov, E. R. Kanunov, N. V. Karlov, I. O. Kovalev, G. P. Kuz'min, A. M. Prokhorov