Получение аморфных гидрогенизированных широкозонных полупроводников $a$-Si$_{1-x}$C$_{x}$ : H в реакторе с вынесенной подложкой

A. A. Andreev, P. A. Andreev, M. Kh. Ganiev, Yu. M. Tairov, D. Khanov, V. F. Cvetkov, S. V. Chernyshov