A. V. Redkov, D. V. Rozhentsev, A. S. Grashchenko, A. V. Osipov, S. A. Kukushkin, “Построение прогнозных моделей для роста тонких пленок SiC/Si с использованием методов машинного обучения”, Pisma v Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 2025, Volume 51, Issue 22,Pages <nobr>31

Построение прогнозных моделей для роста тонких пленок SiC/Si с использованием методов машинного обучения

A. V. Redkov^a, D. V. Rozhentsev^a, A. S. Grashchenko^a, A. V. Osipov^b, S. A. Kukushkin^a

^a Institute of Problems of Mechanical Engineering, Russian Academy of Sciences, St. Petersburg
^b Saint Petersburg State University

Received: 14.07.2025
Revised: 14.08.2025
Accepted: 14.08.2025

DOI: 10.61011/PJTF.2025.22.61581.20441