Application of the diode laser-based spectrometer for the estimation of $B\,Cl_3$ content in $Ge\,Cl_4$

G. G. Devyatykh, I. I. Zasavitskii, Yu. V. Kosichkin, G. A. Maksimov, A. I. Nadezhdinskii, A. M. Prokhorov, A. Yu. Khomutov, E. V. Stepanov, A. Yu. Tishchenko, A. P. Shotov, S. M. Shapin


Received: 08.03.1985

Bibliographic databases:

•