Plasma Investigations

Распределение электромагнитного поля в нанослое фоторезиста при фокусировке поверхностной плазмонной волны на нановершине сканирующего металлического микроострия

A. B. Petrin

Joint Institute for High Temperatures, Russian Academy of Sciences, Moscow

UDC: 535.015

Received: 18.04.2022
Revised: 26.04.2022
Accepted: 07.06.2022

DOI: 10.31857/S0040364423040129