Short Communications

Возможность диагностики приэлектродных слоев по эмиссионным характеристикам плазмы

V. L. Galanskii, Yu. E. Kreindel, E. M. Oks

Institute of High Current Electronics, Siberian Branch of the USSR Academy of Sciences, Tomsk

UDC: 537.525

Received: 13.09.1988