Влияние высокотемпературного отжига на физико-химические свойства систем на основе FeSi$_x$

Установлено, что физико-химические свойства структур на основе силицидов железа, полученных ионной имплантацией ионов железа в кремний, существенно зависят от времени последующего высокотемпературного отжига. На поверхности образуются объекты с различными геометрическими параметрами и увеличивается шероховатость. Отжиг при 1000$^\circ$C в атмосфере Ar сопровождается уменьшением содержания химической связи Fe–Si в первые 60 с. Причиной падения теплопроводности при увеличении температуры отжига является формирование силицидных комплексов.