Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников, М. В. Меженный, М. Г. Мильвидский, В. Я. Резник, “Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов”, Письма в ЖТФ, 2008, том 34, выпуск 3,страницы 32

Эта публикация цитируется в 1 статье

Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов

Р. В. Гольдштейн^a, К. Б. Устинов^a, П. С. Шушпанников^a, М. В. Меженный^b, М. Г. Мильвидский^b, В. Я. Резник^b

^a Институт проблем механики РАН, Москва
^b Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", г. Москва

Аннотация: Предложен способ оценки собственных деформаций преципитата из анализа преципитат-дислокационных скоплений, возникающих на поздних стадиях многоступенчатой термической обработки кремниевых пластин. Полученная оценка использована для определения количества содержащегося в преципитате вещества.

Поступила в редакцию: 02.03.2007
Принята в печать: 29.06.2007