Исследование параметров аргоновой дуги с полым катодом

Исследуются характеристики дугового разряда в ионном источнике с полыми катодами. Определены два режима работы, один из которых характеризуется большим отрицательным потенциалом плазмы, другой – небольшим положительным. Рассмотрены вопросы эрозии полых катодов. Указаны оптимальные режимы работы, при которых удельная эрозия минимальна. На основе двухмерных МГД-уравнений рассчитаны параметры плазмы в камере источника.