Трансформаторный плазмотрон – плазмохимический реактор

Разработан и создан трансформаторный плазмотрон атмосферного давления мощностью до $50$ кВт. Изучены теплофизические и электрофизические характеристики разряда мощностью до $20$ кВт при атмосферном давлении смеси аргона и водорода и частоте тока $100$ кГц. На примере тетрахлорида кремния показана возможность проведения различных восстановительных плазмохимических реакций с получением продуктов реакции высокой чистоты. На примере моносилана показана возможность получения нанопорошков веществ и их соединений.