RUS  ENG
Full version
JOURNALS // Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki

Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 2020, Volume 90, Issue 11, Pages 1884–1892 (Mi jtf5157)

The microstructure of transition boundaries in multilayer Mo/Be systems
R. M. Smertin, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, P. A. Yunin, A. L. Trigub

This publication is cited in the following articles:
  1. A.U. Gaisin, R.M. Smertin, N.I. Chkhalo, E.O. Filatova, “Impact of barrier layer on microstructure of Mo/Be multilayers for the EUV range before and after annealing”, Vacuum, 244 (2026), 114885  crossref
  2. R. M. Smertin, N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, S. A. Garakhin, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, P. A. Yunin, “Influence of Mo interlayers on the microstructure of layers and reflective characteristics of Ru/Be multilayer mirrors”, Opt. Express, 30:26 (2022), 46749  crossref


© Steklov Math. Inst. of RAS, 2026