RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики

ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 4, страницы 620–626 (Mi jtf5653)

Модель термического окисления кремния
А. В. Фадеев, Ю. Н. Девятко

Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
  1. А.В. Федотов, “ЭФФЕКТ АУТДИФФУЗИИ ПРИМЕСИ ИЗ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ ПОЛУПРОВОДНИКА ПРИ МОДЕЛИРОВАНИИ В TCAD ТЕРМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СРЕДЕ, СОДЕРЖАЩЕЙ КИСЛОРОД”, Nanoindustry Russia, 18:11s (2025), 855  crossref
  2. I. E. Tyschenko, E. V. Spesivtsev, A. A. Shklyaev, V. P. Popov, “Structural Changes in Nanometer-Thick Silicon-on-Insulator Films During High-Temperature Annealing”, Semiconductors, 56:3 (2022), 223  crossref
  3. М. У. Каланов, А. В. Хугаев, “Фазовый переход $\alpha$$\beta$ в примесной фазе монокристалла кремния SiO$_{2}$”, Письма в ЖТФ, 47:7 (2021), 22–25  mathnet  crossref; M. U. Kalanov, A. V. Khugaev, “$\alpha$$\beta$ phase transition in the impurity phase of a SiO$_2$ single crystal”, Tech. Phys. Lett., 47:5 (2021), 349–352  mathnet  crossref
  4. Huafeng Quan, Shanying Sui, Lianyi Wang, Ruiying Luo, Xiaohui Dong, “A low-temperature preparation strategy of SiC/ZrB2-CrSi2-Si/SiC multilayer oxidation-resistant coating for C/C composites: Process, kinetics and mechanism research”, Applied Surface Science, 562 (2021), 149993  crossref


© МИАН, 2026