RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики

ЖТФ, 2023, том 93, выпуск 6, страницы 836–839 (Mi jtf7015)

Расчет компонентного состава поверхностных слоев карбида титана при распылении легкими ионами
В. В. Манухин

Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
  1. V. V. Manukhin, “Evaluation of the component composition and thickness of the modified layer of tungsten and tantalum carbides during stationary sputtering by helium ions bombardment”, Poverhnostʹ. Rentgenovskie, sinhrotronnye i nejtronnye issledovaniâ, 2024, no. 9, 101  crossref


© МИАН, 2026