Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, п. Черноголовка Московской обл., Россия
|
|
Адрес: Россия, 142432, п. Черноголовка Московской обл., ул. Институтская, 6
Телефон: +7 (495) 962 80 74
Факс: +7 (495) 962 80 47
E-mail:
Сайт: https://www.ipmt-hpm.ac.ru
Персоналий: 104
Авторов: 132
Публикаций: 157
Другие названия организации:
- Институт проблем технологии и микроэлектроники АН СССР
- Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
© , 2024