Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Механизмы разрушения фторуглеродных пленок при атомно-слоевом травлении диоксида кремния
Письма в ЖТФ, 52:13 (2026), 38–42
-
Воздействие плазмы N$_2$ на монослои дисульфида молибдена
Письма в ЖТФ, 49:18 (2023), 8–11
-
Исследование воздействия атомов H, N и O на квазидвумерный дисульфид молибдена
Письма в ЖТФ, 48:22 (2022), 28–32
-
Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
Письма в ЖТФ, 48:7 (2022), 16–19
-
Особенности воздействия ионов He и Ar низких энергий на нанопористые Si/SiO$_{2}$-материалы
Письма в ЖТФ, 46:11 (2020), 15–18
© , 2026