RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Stepanov L V
Publications in Math-Net.Ru
Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии
Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki
,
95
:7 (2025),
1297–1302
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2025