RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Garabov D V
Publications in Math-Net.Ru
Особенности формирования мезаструктуры методом электронно-лучевой литографии в полупроводниковых соединениях на основе GaAs
Pisma v Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki
,
51
:21 (2025),
42–44
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2025
