RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Shimlovskaya Diana A
Publications in Math-Net.Ru
Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO
$_2$
/Si
$_3$
N
$_4$
Optics and Spectroscopy
,
133
:9 (2025),
957–962
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2025