RUS
ENG
Full version
PEOPLE
Chupris I K
Publications in Math-Net.Ru
Структурные изменения и глубинное перераспределение имплантированных примесей In и As в Si при стационарной и импульсной термообработке
Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki
,
96
:4 (2026),
816–823
©
Steklov Math. Inst. of RAS
, 2026