Калинкин Игорь Петрович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Влияние химической подготовки поверхности кремния на качество и структуру эпитаксиальных пленок карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов
   
   Физика и техника полупроводников, 52:6 (2018),  656–663


2. Баланс мощности в системе "плазма низкого давления – мелкодисперсный материал" (№ 3244-86 Деп. от 6.V.1986)
   
   ТВТ, 24:5 (1986),  1036