RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Гусев В В
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Особенности спектра плазмы ВЧ-разряда при травлении алюминия
ТВТ
,
21
:1 (1983),
22–29
©
МИАН
, 2024