Руденко Константин Васильевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Атомно-слоевое осаждение тонких пленок на 3$D$-наноструктуры: влияние наклона стенок и аспектного отношения тренчей
   
   ЖТФ, 88:10 (2018),  1573–1580
2. Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения тонких пленок на стенки цилиндрических отверстий с высоким аспектным отношением
   
   ЖТФ, 88:8 (2018),  1264–1272
3. Аналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением
   
   ЖТФ, 88:2 (2018),  243–250
4. Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al$_{2}$O$_{3}$, нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
   
   Физика и техника полупроводников, 50:5 (2016),  643–649