Алябьев Алексей Юрьевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Применение технологии атомно-слоевого осаждения оксида гафния в производстве элементов электронной компонентной базы
   
   Научно-технические ведомости СПбГПУ. Информатика. Телекоммуникации. Управление, 2015, № 4(224),  51–58