Полетаев Сергей Дмитриевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
   
   ЖТФ, 91:4 (2021),  657–663
2. Влияние асимметрии расположения металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
   
   Физика и техника полупроводников, 55:12 (2021),  1255–1259
3. Влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
   
   Письма в ЖТФ, 47:11 (2021),  44–47
4. Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена
   
   Компьютерная оптика, 40:3 (2016),  422–426
5. Численное моделирование процесса абляции тонких пленок молибдена под действием лазерного излучения
   
   ЖТФ, 86:9 (2016),  1–6
6. Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие пленки молибдена
   
   ЖТФ, 86:4 (2016),  101–105
7. Формирование микрорельефа методом термического окисления пленок молибдена
   
   Письма в ЖТФ, 42:3 (2016),  106–110
8. Исследование фокусировки в близкорасположенные световые пятна при освещении дифракционных оптических элементов коротким импульсным лазерным пучком
   
   Компьютерная оптика, 39:2 (2015),  187–196
9. Применение тонких плёнок молибдена для контактных масок при изготовлении микрорельефов элементов дифракционной оптики
   
   Компьютерная оптика, 38:4 (2014),  757–762