RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Рогожин Александр Евгеньевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Nanophotonic structure formation by dry e-beam etching of the resist: resolution limitation origins
Компьютерная оптика
,
41
:4 (2017),
499–503
Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста
Компьютерная оптика
,
39
:2 (2015),
204–210
©
МИАН
, 2024