RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Черкашин Вадим Владимирович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров
Компьютерная оптика
,
40
:4 (2016),
482–488
©
МИАН
, 2024
