Мхин С

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Диэлектрические золь-гель покрытия на основе диоксида кремния для планаризации поверхности интегральных микросхем
   
   ПФМТ, 2020, № 4(45),  7–14
2. Исследование структурно-механических свойств защитных золь-гель покрытий на основе оксидов Si, Ti, Zr и их комплексов
   
   ПФМТ, 2018, № 4(37),  21–24