RUS  ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ

Баранова Е К

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

  1. Высокотемпературная ионная имплантация мышьяка в кремний

    Физика и техника полупроводников, 24:6 (1990),  1132–1133
  2. Синтез аморфной пленки Si$_{3}$N$_{4}$ в процессе имплантации ионов азота в кремний

    Письма в ЖТФ, 16:23 (1990),  43–45
  3. Исследование распределения аморфной и кристаллической фазы ионно-синтезированного SiC в Si

    Физика и техника полупроводников, 22:4 (1988),  731–732
  4. Исследование образования монокристаллических слоев $\beta$-SiC на Si методом высокоинтенсивного ионного легирования (ВИЛ)

    Физика и техника полупроводников, 21:5 (1987),  920–922
  5. Синтез монокристаллического карбида кремния с помощью одношаговой техники высокоинтенсивного ионного легирования

    Физика и техника полупроводников, 20:1 (1986),  149–152


© МИАН, 2024