Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Высокотемпературная ионная имплантация мышьяка в кремний
Физика и техника полупроводников, 24:6 (1990), 1132–1133
-
Синтез аморфной пленки Si$_{3}$N$_{4}$ в процессе имплантации ионов
азота в кремний
Письма в ЖТФ, 16:23 (1990), 43–45
-
Исследование распределения аморфной и кристаллической фазы
ионно-синтезированного SiC в Si
Физика и техника полупроводников, 22:4 (1988), 731–732
-
Исследование образования монокристаллических слоев $\beta$-SiC на Si
методом высокоинтенсивного ионного легирования (ВИЛ)
Физика и техника полупроводников, 21:5 (1987), 920–922
-
Синтез монокристаллического карбида кремния с помощью одношаговой
техники высокоинтенсивного ионного легирования
Физика и техника полупроводников, 20:1 (1986), 149–152
© , 2024