Применение импульсных режимов отжига в технологии полупроводниковых структур : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977―1980 гг.) / И. А. Калябина, Г. А. Крысов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981. — 35 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 12)
