RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Урбялис Артурас Йонушович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние дозы имплантации на рекристаллизацию слоев поли-Si лазером CO
$_{2}$
непрерывного действия
Физика и техника полупроводников
,
20
:3 (1986),
393–397
©
МИАН
, 2024