Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси
ПФМТ, 2023, № 4(57), 69–73
-
Структура и механические свойства углеродных покрытий, легированных цирконием и кремнием
ПФМТ, 2023, № 4(57), 42–47
-
Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния
ПФМТ, 2023, № 3(56), 64–68
-
Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники
ПФМТ, 2023, № 3(56), 60–63
-
Структура и механические свойства кремний-углеродных покрытий, легированных хромом
ПФМТ, 2022, № 2(51), 52–57
-
Влияние ионно-плазменного азотирования на структуру осажденных из газовой фазы покрытий на основе целлюлозы и углеродных нанотрубок
ПФМТ, 2020, № 4(45), 62–67
© , 2024