Вулис Юрий Давыдович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Образование и температурная стабильность дефектов в приповерхностном слое Si структур Si$-$SiO$_{2}$, имплантированных ионами Ti
   
   Физика и техника полупроводников, 18:4 (1984),  696–699