RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Темпер Э М
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
О роли атермических процессов в импульсном отжиге ионно-легированных слоев Si
Физика и техника полупроводников
,
18
:5 (1984),
928–930
©
МИАН
, 2024
