RUS  ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ

Шарофидинов Шукрилло Шамсидинович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

  1. Релаксация напряжений несоответствия в гетероструктурах $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$ при образовании дислокаций несоответствия

    Физика твердого тела, 63:6 (2021),  788–795
  2. Самоорганизация состава пленок Al$_{x}$Ga$_{1-x}$N, выращенных на гибридных подложках SiC/Si

    Физика твердого тела, 63:3 (2021),  363–369
  3. Влияние предобработки подложки кремния на свойства пленок GaN, выращенных методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии

    Физика и техника полупроводников, 55:8 (2021),  704–710
  4. Диэлектрические и пироэлектрические свойства композитов на основе нитридов алюминия и галлия, выращенных методом хлорид-гидридной эпитаксии на подложке карбида кремния на кремнии

    Письма в ЖТФ, 47:9 (2021),  7–10
  5. Бипланарные эпитаксиальные AlN/SiC/$(n,p)$SiC-структуры для приборов высокотемпературной функциональной электроники

    ЖТФ, 90:3 (2020),  450–455
  6. Рост объемных эпитаксиальных пленок AlN полуполярной ориентации на подложках Si (001) и гибридных подложках SiC/Si (001)

    Письма в ЖТФ, 46:11 (2020),  22–25
  7. Особенности пироэффекта в эпитаксиальных слоях нитрида алюминия, полученных на Si-подложках

    Письма в ЖТФ, 46:1 (2020),  20–23
  8. Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия

    Физика твердого тела, 61:12 (2019),  2379–2384
  9. Новый метод получения объемных кристаллов AlN, GaN и AlGaN с использованием гибридных подложек SiC/Si

    Физика твердого тела, 61:12 (2019),  2338–2343
  10. Метод управления полярностью слоев GaN при эпитаксиальном синтезе GaN/AlN гетероструктур на гибридных подложках SiC/Si

    Физика твердого тела, 61:12 (2019),  2289–2293
  11. Рост полупроводниковых III–V гетероструктур на подложках SiC/Si

    Письма в ЖТФ, 45:14 (2019),  24–27
  12. Исследование пироэффекта в AlN-эпитаксиальных слоях

    Письма в ЖТФ, 44:16 (2018),  11–19
  13. Хлоридная эпитаксия слоев $\beta$-Ga$_{2}$O$_{3}$ на сапфировых подложках базисной ориентации

    Физика и техника полупроводников, 50:7 (2016),  997–1000
  14. Снижение трещинообразования при росте AlN на подложках Si методом хлоридно-гидридной эпитаксии

    Физика и техника полупроводников, 50:4 (2016),  549–552


© МИАН, 2024