|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Влияние добавки хлорпентафторэтана в составе хлорсодержащей плазмы на скорость и характеристики профиля травления арсенида галлия
Физика и техника полупроводников, 55:10 (2021), 837–840
-
Исследование нелегированных нанокристаллических алмазных пленок, выращенных из газовой фазы в плазме СВЧ разряда
Физика и техника полупроводников, 55:1 (2021), 49–58
-
Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках
Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 958–961
-
Формирование омических контактов к слою алмазоподобного углерода, осажденному на диэлектрическую алмазную подложку
Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 865–867
-
Модификация соотношения $sp^2/sp^3$-гибридного углерода в PECVD пленках DLC
Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020), 855–858
-
Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу
Письма в ЖТФ, 46:11 (2020), 34–38
-
Исследование формирования омических контактов Au/Mo/Ti с пониженным сопротивлением к эпитаксиальным слоям алмаза $p$-типа
ЖТФ, 89:12 (2019), 1923–1932
-
Омические контакты к эпитаксиальным структурам CVD-алмаза с дельта-слоями бора
Физика и техника полупроводников, 53:10 (2019), 1386–1390
-
Вертикальный полевой транзистор с управляющим $p$–$n$-переходом на основе GaAs
Физика и техника полупроводников, 53:10 (2019), 1311–1314
-
Плазмохимическое осаждение алмазоподобных пленок на поверхности монокристаллического высоколегированного алмаза
Физика и техника полупроводников, 53:9 (2019), 1229–1232
-
Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии
Письма в ЖТФ, 45:2 (2019), 50–54
-
Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C$_{2}$F$_{5}$Cl
Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018), 1362–1365
-
Низкотемпературное осаждение пленок SiN$_{x}$ в индуктивно-связанной плазме SiH$_{4}$/Ar + N$_{2}$ в условиях сильного разбавления силана аргоном
Физика и техника полупроводников, 51:11 (2017), 1503–1506
-
Сильно легированные слои GaAs : Te, полученные в процессе МОГФЭ с использованием диизопропилтеллурида в качестве источника
Физика и техника полупроводников, 50:11 (2016), 1459–1462
© , 2024