RUS  ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ

Краев Станислав Алексеевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

  1. Влияние добавки хлорпентафторэтана в составе хлорсодержащей плазмы на скорость и характеристики профиля травления арсенида галлия

    Физика и техника полупроводников, 55:10 (2021),  837–840
  2. Исследование нелегированных нанокристаллических алмазных пленок, выращенных из газовой фазы в плазме СВЧ разряда

    Физика и техника полупроводников, 55:1 (2021),  49–58
  3. Особенности газофазной эпитаксии GaAs на непланарных подложках

    Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020),  958–961
  4. Формирование омических контактов к слою алмазоподобного углерода, осажденному на диэлектрическую алмазную подложку

    Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020),  865–867
  5. Модификация соотношения $sp^2/sp^3$-гибридного углерода в PECVD пленках DLC

    Физика и техника полупроводников, 54:9 (2020),  855–858
  6. Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу

    Письма в ЖТФ, 46:11 (2020),  34–38
  7. Исследование формирования омических контактов Au/Mo/Ti с пониженным сопротивлением к эпитаксиальным слоям алмаза $p$-типа

    ЖТФ, 89:12 (2019),  1923–1932
  8. Омические контакты к эпитаксиальным структурам CVD-алмаза с дельта-слоями бора

    Физика и техника полупроводников, 53:10 (2019),  1386–1390
  9. Вертикальный полевой транзистор с управляющим $p$$n$-переходом на основе GaAs

    Физика и техника полупроводников, 53:10 (2019),  1311–1314
  10. Плазмохимическое осаждение алмазоподобных пленок на поверхности монокристаллического высоколегированного алмаза

    Физика и техника полупроводников, 53:9 (2019),  1229–1232
  11. Новый подход к анализу фазового состава углеродсодержащих материалов методом времяпролетной вторично-ионной масс-спектрометрии

    Письма в ЖТФ, 45:2 (2019),  50–54
  12. Плазмохимическое травление арсенида галлия в индуктивно-связанной плазме C$_{2}$F$_{5}$Cl

    Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018),  1362–1365
  13. Низкотемпературное осаждение пленок SiN$_{x}$ в индуктивно-связанной плазме SiH$_{4}$/Ar + N$_{2}$ в условиях сильного разбавления силана аргоном

    Физика и техника полупроводников, 51:11 (2017),  1503–1506
  14. Сильно легированные слои GaAs : Te, полученные в процессе МОГФЭ с использованием диизопропилтеллурида в качестве источника

    Физика и техника полупроводников, 50:11 (2016),  1459–1462


© МИАН, 2024