Меш Максим Владимирович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Применение метода атомно-слоевого осаждения для получения наноструктурированных покрытий ITO/Al$_{2}$O$_{3}$
   
   Физика и техника полупроводников, 55:4 (2021),  365–372