Хрыкин Олег Игоревич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Влияние добавки хлорпентафторэтана в составе хлорсодержащей плазмы на скорость и характеристики профиля травления арсенида галлия
   
   Физика и техника полупроводников, 55:10 (2021),  837–840
2. Проверка гипотезы о термоупругом характере деформации слоя (0001)GaN, выращенного на $a$-срезе сапфира
   
   Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018),  1380–1383
3. Исследование анизотропии структурных свойств слоев (0001)GaN, выращенных методом МОГФЭ на $a$-срезе сапфира (11$\bar2$0)
   
   Физика и техника полупроводников, 52:11 (2018),  1300–1303
4. Низкотемпературное осаждение пленок SiN$_{x}$ в индуктивно-связанной плазме SiH$_{4}$/Ar + N$_{2}$ в условиях сильного разбавления силана аргоном
   
   Физика и техника полупроводников, 51:11 (2017),  1503–1506
5. Erratum to: “Atomic composition and electrical characteristics of epitaxial CVD diamond layers doped with boron”
   
   Физика и техника полупроводников, 51:8 (2017),  1151
6. Селективный анализ элементного состава нанокластеров InGaAs/GaAs методом вторично-ионной масс-спектрометрии
   
   Письма в ЖТФ, 43:10 (2017),  50–59
7. Атомный состав и электрофизические характеристики эпитаксиальных слоев CVD алмаза, легированных бором
   
   Физика и техника полупроводников, 50:12 (2016),  1595–1598
8. Эпитаксиальные слои GaN на подложках лангасита, полученные методом МПЭ с плазменной активацией азота
   
   Физика и техника полупроводников, 50:11 (2016),  1532–1536